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Ellipsometer

alpha-SE, J. A. Whollam
PiQuET Laboratory
With fast measurement speeds and push-button operation, the alpha 2.0 is ideal for qualifying transparent thin films. Single-layer dielectrics on silicon or glass substrates can be measured in seconds. Also, patented technology allows accurate measurements on any substrate: metal, semiconductor, or glass.
Applications: transparent and adsorbing thin films thickness or optical constants measurements - Types of film: metal, dielectric, organics, semiconducting single or multilayers. - Wavelength range: 380 – 900 nm - Number of wavelengths: 180 - Angles of incidence: 65°, 70°, 75° - Complete spectrum acquisition rate: 3 s in fast mode, 10 s in standard mode, 30 s in high-precision mode - Sample size: up to 200 mm in diameter and 16 mm thick - Few steps: measurement of psi and delta, model, data fitting - Good practice as recommended by Woollam: one-angle measurement is enough on thin film, three-angles measurements are best for thick films (t > 1 μm)
We firmly believe that one of the Group’s strengths lies in the transdisciplinary approach that stems from active collaboration between experts from different fields, crucial for achieving results in both research and technological transfer.
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